株式会社 半一
電気特性評価装置 HI-CaVo
基本仕様
| 項目 | 内容 |
|---|---|
| 測定容量範囲 |
・40 ～ 150 Hz ：0.0 pF ～ 199.99 mF ・160 ～ 1.5 kHz ：0.00 pF ～ 19.999 mF ・1.6 ～15 kHz ：0.000 pF ～ 1.9999 mF ・16 ～ 159 kHz ：0.000 pF ～ 199.99 μF ・160 ～ 200 kHz ：0.000 pF ～ 19.999 μF |
| 設定電圧範囲 | -16.000V ～ 16.000V |
| 設定波形 | 0→Vmax→Vmin→Vmax 間で、最大2000点まで測定可能 |
| スイープ速度 | 最大で1 V/s程度（1 Vで5点測定） |
| 測定データ保存形式 | テキストファイル |
| 測定ソフト | WINDOWSベース測定ソフト（C-V、C-f） Easy-CV Ver.1.0 |
| 解析ソフト |
WINDOWSベース測解析ソフト Easy-CVSIM Ver.1.0 ・フラットバンド電圧計算 ・欠陥密度計算 ・ライフタイム計算 |
・プローバ、制御用パソコン等はオプションにてご用意いたします。
・ご希望によりデモ測定をいたします。お気軽にご連絡ください。
測定例：試作pMOSのC-V特性
付属ソフトEasy-CVで設定し、ワンクリックで簡単測定
付属ソフトEasy-CVSIMでシミュレーション
テキストファイル化されたデータから簡単描画
・理論値と実験値を比較しながら、MOS特性や構造を簡単に解析できます。
・フラットバンド電圧、ヒステリシス幅、トラップ密度、ドープ濃度が解析から求められます。
オプション
・制御用パソコン：Windows
・プローバ（常圧用、真空用）：ご要望に応じて設計、製作いたします。
・測定ケーブル／コネクタ：同軸／BNC
価格
参考価格 基本測定系＋基本ソフト 150万円