電気特性評価装置（商品名：HI-CaVo）

安価なC-V測定装置をご提供いたします

【特徴】
■MOS型キャパシタのC-V特性と最大容量の評価に最適
■これまであきらめていた大容量MOSが安価、簡単＆高精度に測定可

【基本機能】
①　C-V特性評価
②　フラットバンド電圧測定
③　界面準位密度測定
④　C-ｆ特性と、それを利用した半導体層のライフタイム測定

（山形大学工学部　廣瀬研究室開発）

項目	内容
測定容量範囲	・　40 ～ 150 Hz ：0.0 pF ～ 199.99 mF ・　160 ～ 1.5 kHz ：0.00 pF ～ 19.999 mF ・　1.6 ～15 kHz ：0.000 pF ～ 1.9999 mF ・　16 ～ 159 kHz ：0.000 pF ～ 199.99 μF ・　160 ～ 200 kHz ：0.000 pF ～ 19.999 μF
設定電圧範囲	-16.000V ～ 16.000V
設定波形	0→Vmax→Vmin→Vmax　間で、最大2000点まで測定可能
スイープ速度	最大で1 V/s程度（1 Vで5点測定）
測定データ保存形式	テキストファイル
測定ソフト	WINDOWSベース測定ソフト（C-V、C-f）　Easy-CV　Ver.1.0
解析ソフト	WINDOWSベース測解析ソフト　Easy-CVSIM　Ver.1.0 ・フラットバンド電圧計算・欠陥密度計算・ライフタイム計算

・プローバ、制御用パソコン等はオプションにてご用意いたします。
・ご希望によりデモ測定をいたします。お気軽にご連絡ください。